近日，烟台万华电子材料有限公司自主研发的乙硅烷产线一次性投料开车试产成功，将打破国内对乙硅烷这一关键原材料的进口依赖，实现国产替代！

　　乙硅烷是芯片先进制程及相关高阶工艺制程的关键材料，伴随半导体新技术新制程的更迭，14nm、7nm等高制程芯片对乙硅烷的需求量越来越大。但是因为存在技术壁垒，这一产品长期被国外企业高度垄断。近日，随着万华电子乙硅烷产线的投产成功，这一局面将被打破。

　　万华电子是万华节能集团为响应国务院《中国制造2025》和山东省“新旧动能转换”决策部署而成立的专业从事乙硅烷、高纯硅烷等电子气体研发、生产、销售和服务的高科技企业。

　　相较于目前广泛运用的硅烷，万华电子自主研发、生产的乙硅烷产品具有更高薄膜致密度，大幅提升及改善沉积薄膜的平滑性、连续性，良好掺杂兼容性及低沉积温度，并且大幅提高成膜速率、生产效率等优势。

　　万华电子于 2023 年6月开始进行乙硅烷项目产业化建设，历时 18个月建设完成，并取得试生产批复，现已拥有完整的具有自主知识产权的工艺包，经鉴定项目技术已经达到了国际先进水平。2024年11月初，该项目一次性投料开车试产成功!

　　我国是半导体、平板显示、太阳能电池等领域的产业大国，是乙硅烷产品的重要消费国。目前，乙硅烷主要生产商集中在国外，万华电子乙硅烷项目的成功开车可解决国内对乙硅烷这一关键原材料的进口依赖，实现国产替代!

　　万华电子董事长王耀西表示：“未来，我们将以乙硅烷、高纯硅烷产品为基础，拓展相关电子特气以及大宗气体业务，整合产业链资源，提供“一站式”服务，发展成为综合气体服务企业，为赋能中国新质生产力贡献企业力量！”